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VA5204_3軸真空圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

VA5204_3軸真空圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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VA5204_3軸真空圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

產(chǎn)品描述


3軸真空圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
VA5204_VA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
 
  • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程
  • ● 采用閉環(huán)伺服控制
  • ● 末端執(zhí)行器類型:下托式
  • ● 可選配免電池絕對式編碼器

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臂長

520mm

  額定/最大負(fù)載

 2kg

搬運(yùn)物

≤Φ300mm晶圓

新時達(dá)眾為興VA5204_3軸真空圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

關(guān)鍵詞:

新時達(dá)眾為興VA5204_3軸真空圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

規(guī)格參數(shù)

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