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TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人

TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人
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TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人

TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

產(chǎn)品描述


4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人
TBA4030F-07-09_TBA系列半導體機器人
 
  • ● 采用閉環(huán)伺服控制
  • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程
  • ● 可選配免電池絕對式編碼器
  • ● 可選mapping傳感器類型:對射式、反射式
  • ●可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

臂長

200/260/320/400mm

  額定/最大負載

 3kg

搬運物

≤Φ300mm晶圓

新時達眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人

關(guān)鍵詞:

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規(guī)格參數(shù)

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