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產品描述
3軸大氣晶圓校準器
JC48B_JC系列半導體機器人
- 采用閉環(huán)伺服控制
- 晶圓固定方式:真空吸附
校準晶圓尺寸
Φ100-Φ200mm
校準精度
晶圓中心:±0.1mm
晶圓缺口:±0.1°
校準時間
3sec

關鍵詞:
新時達眾為興JC48B_3軸大氣晶圓校準器
規(guī)格參數
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智慧電梯:400-820-7921
變頻驅動:400-821-0325
運動控制:400-821-0325
多關節(jié)機器人:400-920-0275
SCARA機器人:400-168-2718
郵箱:market@stepelectric.com
地址:上海市嘉定區(qū)思義路1560號,201802
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